Specyfikacja techniczna

Transkrypt

Specyfikacja techniczna
SPECYFIKACJA TECHNICZNA
Załącznik nr 1
Zakup, dostawa i instalacja
skaningowego mikroskop elektronowego
z przystawką EDS.
1. WYMAGANIA TECHNICZNE
1.1. Założenia ogólne
Przedmiotem zakupu oraz dostawy jest skaningowy mikroskop elektronowy SEM z przystawką
EDS dla Laboratorium Międzyuczelnianego w Stalowej Woli. Urządzenie będzie
wykorzystywane, jako stanowisko do badań morfologii powierzchni ciał stałych w mikro- i
nanoskali. Dodatkowe wyposażenie w postaci mikroanalizatora rentgenowskiego EDS
umożliwia jakościowy i ilościowy pomiar pierwiastków w badanych próbkach.
W celu potwierdzenia, parametrów oferowanego przedmiotu zamówienia należy do oferty
dołączyć opisy w formie papierowej, które w sposób jednoznaczny pozwolą stwierdzić, że
parametry eksploatacyjno – techniczne oferowanego urządzenia będą zgodne z wymaganiami
Zamawiającego.
Urządzenie musi spełniać wymagania dyrektywy "Nowego Podejścia UE” - znak CE, oraz
wymagania odpowiednich norm przedmiotowych.
1.2. Parametry techniczne urządzenia
1.2.1. PODSTAWOWE WYMAGANIA TECHNICZNE SEM
Lp.
Nazwa parametru
Mikroskop
1 Rozdzielczość w trybie wysokiej próżni
. (detektor SE)
2 Rozdzielczość w trybie wysokiej próżni
. (detektor wewnątrz soczewki obiektywu) SE
3 Rozdzielczość w trybie zmiennej próżni (BSE)
.
4 Napięcie przyspieszające
.
Wielkość parametru
nie gorsza niż
1.2 nm przy 30 kV
2.5 nm przy 3 kV
nie gorsza niż
1 nm przy 30 kV
2nm przy 3 kV
nie gorsza niż
2.0 nm przy 30 kV
200 V do 30 kV z
możliwością płynnej
regulacji
Lp.
Nazwa parametru
5 Prąd próbki
.
Wielkość parametru
nie gorszy niż 1pA do
200 nA
6 Powiększenia
.
od 2 do 1.000.000 razy
7 Komora mikroskopu
.
min. 12 wolnych portów
do zainstalowania
detektorów i urządzeń
Stolik mikroskopowy
8 Zautomatyzowany we wszystkich osiach
. X: minimum. 130 mm
TAK
9 Detektor SE z kryształem YAG
.
TAK
1 BSE z kryształem YAG. Detektor na ruchomym ramieniu
0 pozwalającym na wysunięcie detektora z komory. Detektor
. wyposażony w podwójny scyntylator.
TAK
1 Detektor SE do pracy w trybie zmiennej próżni
1
.
TAK
1 Detektor wewnątrz soczewki obiektywu przeznaczony do
2 obrazowania SE
.
TAK
1 Detektor wewnątrz soczewki obiektywu przeznaczony do
3 obrazowania BSE
.
TAK
1 Detektor EDS, typu SDD (silicon drift detector), bez
4 chłodzenia ciekłym azotem
.
TAK
1 Minimalna powierzchnia aktywna okienka detektora
5
.
≥ 70 mm2,
Y: minimum. 130 mm
Z: minimum. 100 mm
Pochylanie: minimum od -30 o do +90o
Rotacja: 3600
Detektory
1 Minimalna, gwarantowana rozdzielczość detektora dla linii
6 Mn K-alfa
.
127 eV
(zgodnie
z ISO 15632 2012)
Lp.
Nazwa parametru
Wielkość parametru
1 Minimalna, gwarantowana rozdzielczość detektora dla linii
7 F K-alfa
.
64 eV
(zgodnie
z ISO 15632 2012)
1 Minimalna, gwarantowana rozdzielczość detektora dla linii
8 C K-alfa:
.
56 eV
(zgodnie
z ISO 15632 2012)
1 Gwarantowana stabilność detektora: zmiana rozdzielczości i
9 pozycji piku mniejsza niż 1 eV przez mianie zliczeń od 1000
. do 100 000 zliczeń na sekundę.
TAK
2 Detektor EDS, typu SDD (silicon drift detector), bez
0 chłodzenia ciekłym azotem, minimalna powierzchnia
2
. aktywna okienka detektora ≥ 10 mm
TAK
Optyka mikroskopu
2 Soczewki elektronowe pozwalające na płynne przełączanie
1 się między trybami pracy umożliwiającymi:
. - obserwacje ze zwiększoną głębią ostrości
TAK
2
2
.
TAK
2
3
.
- obserwacje z powiększonym polem widzenia
- pochylanie wiązki elektronowej (osi skanowania) o zadany
(regulowany) kąt w celu uzyskiwania obrazów
stereoskopowych wykorzystywanych do rekonstrukcji 3D
obserwowanych powierzchni.
Kolumna mikroskopu nie zawiera żadnych mechanicznych
elementów wymagających centrowania. Efektywna średnica
wiązki elektronowej jest regulowana elektromagnetycznie w
sposób ciągły przy pomocy dedykowanej soczewki
elektronowej.
Automatyczne centrowanie wszystkich elementów optyki
elektronowej.
TAK
Dodatkowe wyposażenie mikroskopu
2 Kamera podglądu komory
4
.
TAK
2 Układ pomiaru prądu próbki
5
.
TAK
2 Układ wykrywania kontaktu próbki z elementami komory,
6 który ostrzega sygnałem dźwiękowym oraz blokuje dalszy
. ruch stolika mikroskopu.
TAK
2 Układ wyhamowywania wiązki elektronowej (Beam
7 Deceleration), który umożliwia uzyskiwanie
. wysokorozdzielczych obrazów przy niskich energiach wiązki
TAK
padającej na próbki.
Lp.
Nazwa parametru
Wielkość parametru
2 Urządzenie typu Plasma Cleaner zintegrowane z
8 mikroskopem skaningowym przeznaczone do czyszczenia
. komory i powierzchni próbek.
TAK
2 Pneumatyczny układ zawieszenia kolumny
9
.
TAK
System próżniowy
poniżej 9×10-3 Pa
3 Próżnia robocza
0
.
3 Tryb zmiennej próżni
1
.
w zakresie co najmniej
od 7 do 500 Pa.
3 Brak chłodzenia cieczowego w układzie próżniowym i
2 elektronooptycznym.
.
TAK
3 Pompa turbomolekularną,
3 pompa wstępną bezolejową typu scroll,
. dwie pompy jonowe.
TAK
Obsługa mikroskopu
3 Zapis obrazów: 8192×8192 pikseli w postaci plików bmp,
4 tiff, JPG, jpeg2000, GIF, PNG.
. Możliwość zapisu z rozdzielczością 16384×16384 pikseli ,
TAK
3 Komputer PC w konfiguracji ZALECANEJ przez producenta
5 z dwoma monitorami LCD o przekątnej minimum 24 cale,
. panel sterujący
TAK
16 bit.
Oprogramowanie
3 Oprogramowanie mikroskopu umożliwiające pomiary i
6 przetwarzanie obrazów.
.
3 Podstawowe oprogramowanie biurowe: arkusz kalkulacyjny
7 i edytor tekstu, z możliwością pełnej edycji dokumentów w
. formatach .xlsx i .docx, z możliwością bezpośredniego
TAK
TAK
w języku polskim
zapisu do formatu .pdf
3 Możliwość nakładania na siebie sygnałów z dwóch
8 detektorów z możliwością określenia udziału sygnału z
. poszczególnych detektorów w obrazie składanym.
TAK
Lp.
Nazwa parametru
Wielkość parametru
3 Oprogramowanie detektora EDS powinno umożliwić:
9 • jakościową i ilościową analizę w punkcie oraz
dowolmnym obszarze nieregularnym zdefiniowanym
.
TAK
4
0
.
TAK
4
1
.
4
2
.
4
3
.
przez operatora,
• możliwość stosowania własnych standardów do analizy
ilościowej, tworzenia własnych bibliotek wzorców przez
operatora.
Oprogramowanie detektora EDS powinno umożliwić:
• zbieranie map rozkładu pierwiastków z rozwiązaniami
zapewniającymi rozróżnienie nakładających się pików na
etapie zbierania spektrum oraz po jego zebraniu,
• mapowanie ilościowe,
• zbieranie profilii rozkładu pierwiastków wzdłuż zadanej
linii
z rozwiiązaniami
zapewniajacymi
możliwość
rozróżniania nakładających się pików na etapie zbierania
spektrum oraz po jego zebraniu,
• rekonstrukcję spektrum z zebranych wcześniej map i
profili liniowych.
Oprogramowanie detektora EDS powinno umożliwić:
• analizę typu PhaseMap – możliwość rozróżniania faz w
próbce na podstawie zebranych map. Ilościowa
charakteryzacja rozpoznanych faz prezentowana w
postaci wykresu trójkątnego,
• automatyczną
analiza
cząstek
z możliwością
definiowana własnych klas w zależności od wielkości i
składu chemicznego obiektów. Analizę automatyczna
zapewniająca analizę dużych obszarów (ograniczonych
zakresem ruchu stolika mikroskopu) według zadanych
kryteriów,
• automatyzację wszystkich procedur analitycznych,
kontrola stolika mikroskopu SEM, kontrola pozycji wiązki
z poziomu oprogramowania systemu EDS.
Oprogramowanie detektora EDS powinno umożliwić:
• rekonstrukcję spektrum EDS opartego o listę
pierwiastków i ich zawartość procentową zdefiniowanych
przez operatora,
• narzędzia do pomiaru składu chemicznego oraz grubości
cienkich warstw o grubości od 2 nm do 2000 nm,
oprogramowanie musi być integralną częścią głównej
aplikacji analitycznej systemu EDS i w pełni z nią
zintegrowaną,
• analizę ilościowa z linii i zdefiniowanych siatek
składających się z punktów, których ilość definiuje
operator.
• reakcyjny i predykcyjny mechanizm kontroli dryftu
zawarty w głównej aplikacji (oprogramowaniu) systemu
EDS.
Oprogramowanie detektora EDS powinno umożliwić eksport
wszystkich danych do popularnych formatów takich jak MS
Word, Excel itp.
Akcesoria
TAK
TAK
TAK
Lp.
Nazwa parametru
Wielkość parametru
4 Napylarka próżniowa do pokrywania próbek metalami i
4 węglem w wysokiej próżni z możliwością pomiaru grubości
. warstwy napylonej.
TAK
4 Zasilacz awaryjny UPS o odpowiedniej mocy w celu
5 zapewnienia bezpiecznego wyłączenia mikroskopu w
. przypadku braku zasilania elektrycznego.
TAK
4 Automatyczny aparat sorpcyjny do pomiaru powierzchni
6 właściwej i dystrybucji wielkości porów w zakresie
. mezoporów.
TAK
4 Ultrapiknometr gazowy, rzdzielczość pomiaru objętości:
3
3
7 0,0001 cm , zakres objętości próbek: 0,1- 135 cm , zakres
. ciśnień roboczych: 1-20 psig (0,07-1,4 atm).
TAK
4 Mineralizator mikrofalowy z układem dwóch magnetronów o
8 łącznej mocy 1800 W, segmentowym rotorem
. wysokociśnieniowy 10-pozycyjnym, systemem
TAK
bezpiecznego uwalniania nadmiaru ciśnienia; maksymalne
ciśnienie pracy: 100 bar (1500 psi); maksymalna
temperatura pracy: 300°C, czujnikami temperatury i
ciśnienia. Kompletem naczyń kwarcowych.
1.2.2. WYMAGANIA DODATKOWE
Lp.
Nazwa
Opis
1 Szkolenie (min. 3 dni) w zakresie obsługi przyrządu,
. urządzeń dodatkowych i pakietów oprogramowania w
TAK
2
.
TAK
3
.
miejscu użytkowania aparatury w terminie uzgodnionym
przez obie strony (dla min. 2 osób)
Szkolenie (min. 5 dni) aplikacyjne w zakresie
zaawansowanej obsługi mikroskopu i użytkowania
oprogramowania w miejscu użytkowania aparatury w
terminie uzgodnionym przez obie strony (dla min. 2 osób)
Instrukcja obsługi i dokumentacja techniczna w języku
polskim.
4 Zestaw części zużywających się i akcesoriów do pracy
. przez co najmniej 24 miesiące – w tym zapasowy emiter
działa elektronowego, który zostanie dostarczony po
zużyciu pierwotnie zainstalowanego.
5 Czas reakcji serwisu nie dłuższy niż 48 godzin1
TAK
TAK
TAK
.
1
Czas reakcji serwisu jest to okres czasu, jaki upływa od chwili zgłoszenia awarii do momentu przyjazdu
serwisanta do miejsca zainstalowania urządzenia. Dotyczy to sytuacji, w której niemożliwe jest usunięcie awarii
(usterki) na drodze konsultacji telefonicznych
Lp.
Nazwa
Opis
6 Okres pełnej gwarancji zarówno na całe urządzenie
.
minimum 24 miesiące
2. PARAMETRY TRANSPORTOWO – INSTALACYJNE
Koszt transportu, instalacji i uruchomienia urządzenia ponosi dostawca. Odbiór urządzenia
nastąpi w oparciu o przeprowadzone badania i potwierdzenie parametrów specyfikacji.
3. TERMIN WYKONANIA
Czas realizacji dostawy urządzenia:
–6 miesięcy od dnia podpisania umowy.